ในปี พ.ศ. 2434 James Dewar นักเคมีชาวสก็อต สามารถผลิต ออกซิเจน เหลวได้เพียงพอสำหรับการศึกษา [25]กระบวนการผลิตออกซิเจนเหลวที่ผลิตได้ในเชิงพาณิชย์เป็นครั้งแรกได้รับการพัฒนาโดยอิสระในปี พ.ศ. 2438 โดยวิศวกรชาวเยอรมันคาร์ล ฟอน ลินเด้และวิศวกรชาวอังกฤษ วิลเลียม แฮมป์สัน ทั้งสองคนลดอุณหภูมิของอากาศลงจนเป็นของเหลว จากนั้นกลั่นก๊าซส่วนประกอบโดยการต้มทีละส่วนและจับแยกจากกัน ต่อมาในปี พ.ศ. 2444 มีการสาธิต การเชื่อมออก ซีอะเซทิลีน เป็นครั้งแรกโดยการเผาส่วนผสมของอะเซทิลีนและO ที่ถูกบีบอัด วิธีการเชื่อมและตัดโลหะนี้กลายเป็นเรื่องธรรมดาในเวลาต่อมา ในปี 1923 นักวิทยาศาสตร์ชาวอเมริกันRobert H. Goddardกลายเป็นบุคคลแรกที่พัฒนาเครื่องยนต์จรวดที่เผาไหม้เชื้อเพลิงเหลว เครื่องยนต์ใช้น้ำมันเบนซินเป็นเชื้อเพลิงและออกซิเจนเหลวเป็นตัวออกซิไดเซอร์ ก็อดดาร์ดประสบความสำเร็จในการบินจรวดเชื้อเพลิงเหลวขนาดเล็ก 56 ม. ที่ 97 กม./ชม. เมื่อวันที่ 16 มีนาคม พ.ศ. 2469 ในเมืองออเบิร์น รัฐแมสซาชูเซตส์สหรัฐอเมริกา ในห้องปฏิบัติการทางวิชาการ สามารถเตรียมออกซิเจนได้โดยการให้ความร้อนร่วมกับโพแทสเซียมคลอเรตผสมกับแมงกานีสไดออกไซด์ในสัดส่วนเล็กน้อย ระดับออกซิเจนในชั้นบรรยากาศทั่วโลกมีแนวโน้มลดลงเล็กน้อย อาจเป็นเพราะการเผาไหม้เชื้อเพลิงฟอสซิล